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ICS 23.160 GB CCS J 78 中华人民共和国国家标准 GB/T 3163—2024 代替 GB/T 3163—2007 真空技术 术语 Vacuum technology—Vocabulary (ISO 3529-1 :2019, Vacuum technology—Vocabulary—Part 1:General terms, MOD; ISO 3529-2 :2020, Vacuum technology—Vocabulary—Part 2: Vacuum pumps and related terms, MOD;ISO 3529-3 :2014, Vacuum technology—Vocabulary- Part 3 : Total and partial pressure vacuum gauges, MOD) 2024-09-29 发布 2024-09-29 实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T 3163—2024 GB/T 3163—2024 GB/T 3163—2024 目 次 前言 1 范围 规范性引用文件 2 术语和定义 3 3.1 基础术语 3.2 真空泵及相关术语 3.3 全压和分压真空计术语 19 真空系统及有关术语 3.4 27 3.5 检漏及有关术语 34 真空镀膜技术术语· 3.6 37 真空治金术语 3.7 43 1 符号 48 附录A (资料性) 对照情况…·. 附录B（资料性） 及原因 附录C (资料性) 真空泵分类图谱· 61 附录D (资料性) 全压真空计树形图谱 62 参考文献 63 索引 64

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