ICS 29.045 H 80 中华人民共和国国家标准 GB/T 13388—2009 代替GB/T13388—1992 硅片参考面结晶学取向X射线测试方法 Method for measuring crystallographic orientation of flats on single-crystal silicon slices and wafers by X-ray techniques 2009-10-30发布 2010-06-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布中国国家标准化管理委员会中华人民共和国国家标准硅片参考面结晶学取向X射线测试方法 GB/T13388—2009 中国标准出版社出版发行北京复兴门外三里河北街16号邮政编码：100045 网址www.spc.net.cn 电话：6852394668517548 中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷各地新华书店经销 * 开本880×12301/16 印张0.75 字数17千字 2010年1月第一版2010年1月第一次印刷书号：1550661-39864定价16.00元如有印装差错由本社发行中心调换版权专有侵权必究举报电话：（010)68533533 建筑321---标准查询下载网 www.jz321.net

GB-T 13388-2009 硅片参考面结晶学取向X射线测试方法

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