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ICS 17.040.30 CCS N 51 中华人民共和国国家标准 GB/T 44926—2024 纳米技术 微区表面及亚表面表征 光学暗场共焦显微法 Nanotechnologies--Characterization of micro surface and sub surface- Optical dark-field confocal microscopy 国家标准全文公开系统专用，此文本仅供个人学习、研究之用， 未经授权，禁止复制、发行、汇编、翻译或网络传播等，侵权必究。 全国标准信息公共服务平台：https://std.samr.gov.cn 2025-07-01实施 2024-12-31发布 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 SAG GB/T 44926—2024 目 次 前言 II 引言 范围 1 规范性引用文件 2 术语和定义 原理 4 设备配置及测量条件 5 测量步骤 数据处理 7 结果表征 8 影响表征结果的因素 9 10测试报告 附录A（规范性） 暗场散射共焦模块 光学暗场共焦显微镜测量结果倾斜矫正方法 附录B（资料性） 附录C（资料性）s光学暗场共焦显微镜亚表面测量介质校正系数计算方法 11 附录D（资料性）钕玻璃光学暗场共焦显微测量结果示例… 13 附录E（资料性）亚表面台阶高度测量结果示例 15 参考文献

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